不是喊口號(hào)！半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)加速度
發(fā)布時(shí)間：
2021-07-30
近年來，在國(guó)家政策與資金雙重支持下，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)迎來了發(fā)展契機(jī)。特別是在中美科技戰(zhàn)背景下，國(guó)內(nèi)Fab廠（晶圓廠）也加大了對(duì)于國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體化設(shè)備的扶持。而隨著去年以來的全球缺芯，全球晶圓廠掀起了擴(kuò)產(chǎn)潮，對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備需求激增。國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備也由原先依靠長(zhǎng)江存儲(chǔ)、中芯國(guó)際、華虹半導(dǎo)體等大廠訂單拉動(dòng)，轉(zhuǎn)變?yōu)閲?guó)內(nèi)各類 IDM/代工/特色工藝晶圓廠多方位需求共振。
長(zhǎng)江存儲(chǔ)國(guó)產(chǎn)化率已攀升至 16%，二期將進(jìn)一步提振國(guó)產(chǎn)設(shè)備需求
長(zhǎng)江存儲(chǔ)于 2016 年總投資約 1600 億元建設(shè)國(guó)家存儲(chǔ)器項(xiàng)目，該項(xiàng)目預(yù)計(jì)分三期實(shí)施，規(guī)劃月產(chǎn)能共 30 萬片/月。根據(jù)武漢市政府信息披露 2019 年達(dá)到第一階段 5 千片/月，2019年進(jìn)入產(chǎn)能擴(kuò)張第二階段，月產(chǎn)能達(dá)到 2 萬片/月，至 2020 年末月產(chǎn)能約達(dá) 5 萬片/月，根據(jù)規(guī)劃，一期項(xiàng)目未來將達(dá) 10 萬片/月，于 2022 年投產(chǎn)，同時(shí)二期工程于 2020 年中旬開始建設(shè)。
按半導(dǎo)體交付周期可將設(shè)備采購分三階段。通常設(shè)備廠商得到中標(biāo)訂單后需約 2 個(gè)季度來生產(chǎn)，從交付到裝機(jī)需要一個(gè)季度，裝機(jī)完成后便進(jìn)行產(chǎn)能爬坡，因此我們可以認(rèn)為其設(shè)備往往在產(chǎn)能釋放前 3 個(gè)季度進(jìn)行集中招標(biāo)，因此我們可以將長(zhǎng)江存儲(chǔ)招標(biāo)分為三個(gè)階段：
1）第一階段（17Q2~19Q2，0~20K）
2）第二階段（19Q2~20Q2，20~50K）
3）第三階段（20Q2~21Q4，50~100K）
通過對(duì)長(zhǎng)江存儲(chǔ)歷史招標(biāo)信息進(jìn)行統(tǒng)計(jì)，截止 2021 年 6 月 30 日，共招標(biāo)光刻機(jī) 44 臺(tái)、刻蝕機(jī) 379 臺(tái)、薄膜沉積 675 臺(tái)、CMP124 臺(tái)、涂膠/顯影/去膠 130 臺(tái)、清洗設(shè)備 142 臺(tái)、氧化/擴(kuò)散/熱處理241臺(tái)、量測(cè)設(shè)備371臺(tái)，合計(jì)價(jià)值量約400~500 億元人民幣。根據(jù)Gartner 數(shù)據(jù)，光刻機(jī)占比約 18%-21%、刻蝕設(shè)備占比約 20%-25%、薄膜設(shè)備占比約 15%-17%，三者合計(jì)占比約 53%-63%，為前道制程中主要的設(shè)備投資。
根據(jù)中國(guó)采招網(wǎng)統(tǒng)計(jì)，三個(gè)階段中，國(guó)產(chǎn)設(shè)備在長(zhǎng)江存儲(chǔ)中的比例分別為 8%、14%、16%呈穩(wěn)步上升趨勢(shì)。
刻蝕設(shè)備中，CCP 等離子體刻蝕機(jī)合計(jì)招標(biāo) 184 臺(tái)，國(guó)內(nèi)代表企業(yè)僅有中微公司，國(guó)產(chǎn)化率合計(jì)約 27%，由于每批次招標(biāo)設(shè)備細(xì)分種類有所不同，其在 CCP 領(lǐng)域市占率由 23%~36%之間浮動(dòng)，ICP 等離子體刻蝕機(jī)合計(jì) 195 臺(tái)，國(guó)內(nèi)代表企業(yè)為北方華創(chuàng)及屹唐半導(dǎo)體，國(guó)產(chǎn)化率合計(jì)約 19%，由于長(zhǎng)江存儲(chǔ)從 64 層向 128 層的技術(shù)轉(zhuǎn)化，對(duì) ICP 刻蝕設(shè)備需求量逐漸上升，其中北方華創(chuàng)在三個(gè)階段中市占率分別為 4%/13%/19%，上升趨勢(shì)顯著；
薄膜沉積設(shè)備中，CVD 設(shè)備合計(jì)招標(biāo) 245 臺(tái)，國(guó)內(nèi)代表企業(yè)為沈陽拓荊，其合計(jì)國(guó)產(chǎn)化率達(dá) 4%，PVD 設(shè)備合計(jì)招標(biāo) 34 臺(tái)，國(guó)內(nèi)代表企業(yè)為北方華創(chuàng)，合計(jì)國(guó)產(chǎn)化率約 30%；
CMP 設(shè)備合計(jì)招標(biāo) 124 臺(tái)，華海清科在國(guó)內(nèi)合計(jì)市占率達(dá) 20%；
清洗設(shè)備招標(biāo) 142 臺(tái)，盛美股份市占率分別為 17%/21%/26%，呈上升趨勢(shì)；
量測(cè)領(lǐng)域合計(jì)招標(biāo) 371 臺(tái)，目前國(guó)產(chǎn)化率較低，中科飛測(cè)主要聚焦于檢測(cè)領(lǐng)域Sufscan，合計(jì)中標(biāo) 6 臺(tái)，上海睿勵(lì)與上海精測(cè)主要覆蓋 OCD 及膜厚量測(cè)，合計(jì)出貨 8 臺(tái)。
隨著長(zhǎng)江存儲(chǔ)二期陸續(xù)拓展，其對(duì)國(guó)內(nèi)設(shè)備將帶來巨大設(shè)備訂單拉動(dòng)。根據(jù)長(zhǎng)江存儲(chǔ)規(guī)劃，二期規(guī)劃產(chǎn)能約 10 萬片/月，已于 2020 年中旬開工建設(shè)，未來設(shè)備招標(biāo)在即，根據(jù)長(zhǎng)江存儲(chǔ)一期設(shè)備采購金額推算，我們預(yù)測(cè)二期將至少投資 400-500 億元用于采購設(shè)備，按照目前16%合計(jì)國(guó)產(chǎn)化率測(cè)算，將帶來至少 64 億元~80 億元設(shè)備采購需求，將在未來兩年內(nèi)逐步釋放，其中隨著各類設(shè)備國(guó)產(chǎn)化比例逐步上升，未來設(shè)備訂單有望大幅上修。
二、晶圓廠完成從 0 到 1 建設(shè)階段，多產(chǎn)線需求共振拉動(dòng)國(guó)內(nèi)設(shè)備訂單
國(guó)內(nèi)廠商陸續(xù)擴(kuò)產(chǎn)，多產(chǎn)線需求共振。目前全球半導(dǎo)體資本支出進(jìn)入景氣上行周期，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備由原先依靠長(zhǎng)江存儲(chǔ)、中芯國(guó)際、華虹半導(dǎo)體等大廠訂單拉動(dòng)轉(zhuǎn)變?yōu)閲?guó)內(nèi)各類 IDM/代工/特色工藝晶圓廠多方位需求共振，我們對(duì) 2021 年初至今各廠商半導(dǎo)體設(shè)備中標(biāo)情況進(jìn)行了詳細(xì)統(tǒng)計(jì)，對(duì)該邏輯進(jìn)行了充分驗(yàn)證。
國(guó)內(nèi) Fab 廠積極推進(jìn)國(guó)產(chǎn)化，國(guó)產(chǎn)設(shè)備廠訂單需求旺盛。根據(jù)中國(guó)采招網(wǎng)，中微公司合計(jì)中標(biāo) 5 臺(tái)等離子體刻蝕設(shè)備，主要招標(biāo)商為上海積塔、華虹無錫廠，根據(jù)中微招股說明書中刻蝕設(shè)備單價(jià)約 733 萬元/腔測(cè)算，中標(biāo)訂單金額合計(jì)達(dá) 1.5 億元；北方華創(chuàng)合計(jì)中標(biāo) 39 臺(tái)設(shè)備，主要招標(biāo)商分別為中芯紹興、浙江創(chuàng)芯、上海新微、上海積塔等，中標(biāo)訂單金額預(yù)計(jì)超4 億元，盛美半導(dǎo)體合計(jì)中標(biāo) 14 臺(tái)清洗設(shè)備，主要招標(biāo)商分別為華虹無錫和芯物科技，中標(biāo)訂單金額預(yù)計(jì)達(dá) 3 億元，此外，中科飛測(cè)、芯源微、至純科技、華海清科、上海精測(cè)分別中標(biāo)非長(zhǎng)江存儲(chǔ)訂單 6/4/5/1/18 臺(tái)設(shè)備訂單，在國(guó)內(nèi)晶圓廠陸續(xù)擴(kuò)建下，國(guó)內(nèi)設(shè)備廠訂單已完成由原先長(zhǎng)江存儲(chǔ)拉動(dòng)轉(zhuǎn)向多產(chǎn)線需求共振。
根據(jù)對(duì)國(guó)內(nèi) Fab 廠招標(biāo)訂單的梳理，我們認(rèn)為，在長(zhǎng)江存儲(chǔ)等 Fab 大廠積極采用國(guó)產(chǎn)設(shè)備的情況下，極大地推動(dòng)了國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程，目前新建 12 寸存儲(chǔ)/代工/特色工藝生產(chǎn)線已陸續(xù)開始采用國(guó)產(chǎn)設(shè)備，為國(guó)內(nèi)設(shè)備廠商提供了良好的產(chǎn)業(yè)生態(tài)，未來隨著國(guó)內(nèi)企業(yè)不斷加大研發(fā)投入以及國(guó)家政策整體利好的催化下，將逐漸縮小與國(guó)外龍頭企業(yè)之間的差距，逐步提升國(guó)產(chǎn)設(shè)備滲透率，國(guó)產(chǎn)替代正在加速進(jìn)行中。
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